Pásztázó elektronmikroszkóp használata: 9 lépés (képekkel)

Tartalomjegyzék:

Pásztázó elektronmikroszkóp használata: 9 lépés (képekkel)
Pásztázó elektronmikroszkóp használata: 9 lépés (képekkel)
Anonim

A pásztázó elektronmikroszkóp (SEM) egy nagyon nagy felbontású mikroszkóp, amely lehetővé teszi az apró részletek nagyon részletes megtekintését. Ez egy gyors áttekintés arról, hogyan lehet mintát készíteni egy segítségével. Ne feledje, hogy a SEM nagyon kényes berendezés, és óvatosan kell használni. Ezeknek a lépéseknek a szigorú követése azonban szinte garantálja, hogy nem károsítja a mikroszkópot. Ezenkívül még számos olyan funkció van, amelyet ebben a cikkben nem tárgyalunk, de ez az eljárás leírja, hogyan lehet alapvető képet kapni.

Ez a cikk konkrét utasításokat tartalmaz a JEOL JSM-6010LA mikroszkóphoz. Bármely JEOL mikroszkóp rendkívül hasonló vezérlőkkel rendelkezik, mint az ebben az útmutatóban leírt mikroszkóp. A Hitachi mikroszkópok is nagyon hasonlóak lesznek, de más márkáknál, mint például a Zeiss, különböző helyeken lehet vezérlőgomb.

Lépések

Pásztázó elektronmikroszkóp használata 1. lépés
Pásztázó elektronmikroszkóp használata 1. lépés

1. lépés. Szerezzen be egy előkészített mintát

A minta elektronmikroszkópiára való előkészítése önmagában nagyon mélyreható eljárás, ezért ehhez az eljáráshoz használjon az Ön számára elkészített mintát. Ha egy mintát SEM -re készítenek, akkor megfelelő méretűnek és vezetőképes felületűnek kell lennie. Mivel a minta már elkészült, ez a cikk feltételezi, hogy megfelel ezeknek a minősítéseknek.

Pásztázó elektronmikroszkóp használata 2. lépés
Pásztázó elektronmikroszkóp használata 2. lépés

2. lépés. Nyissa ki a SEM -et atmoszferikus nyomásra, hogy kinyissa a minta ajtaját

Ne feledje, hogy a SEM mindig be lesz kapcsolva, és a mintakamra mindig vákuumban lesz. Ez azt jelenti, hogy a kamra teljesen üres lesz a gázmolekuláktól, így az elektronoknak tiszta útjuk lesz a minta felé. Tartsa lenyomva a VENT gombot, amíg villogni nem kezd, és kattanást nem hall. A VENT gomb addig villog, amíg a kamra környezete légköri nyomásra nem emelkedik. Ha a VENT gomb folyamatosan narancssárga színű, ez azt jelenti, hogy a kamra légköri nyomáson van, és kinyithatja az ajtót.

Pásztázó elektronmikroszkóp használata 3. lépés
Pásztázó elektronmikroszkóp használata 3. lépés

Lépés 3. Vegyen fel kesztyűt

Ez rendkívül fontos, mert a SEM kamrájának nagyon tisztának kell maradnia!

  • Az ajtó mindkét oldalán található fogantyúk segítségével lassan csúsztassa ki az ajtót.
  • Miután kinyitotta az ajtót, óvatosan fogja meg a mintatartót, és csúsztassa jobbra. Kiszabadul a barázdáiból, és most betöltheti a mintát.
  • A mintatartó négy sarkán két rögzítő csavar tartja a mintát a helyén. Lazítsa meg ezeket a csavarokat kissé (a csavarhúzó fél fordulatának elegendőnek kell lennie), majd távolítsa el az üres mintát a tartóból.
  • Az üres mintát egyelőre félreteszi, de feltétlenül helyezze egy Kimwipe -ra, és ne közvetlenül az asztalra vagy az asztalra. Helyezze a mintát a tartóba, majd húzza meg a csavarokat.
  • Ha a minta a helyén van, lépjen előre, és csúsztassa vissza a mintatartót a mintavételi szakaszon lévő hornyaiba.
  • Most bezárhatja az ajtót az ajtó visszanyomásával a kamrába.
Pásztázó elektronmikroszkóp használata 4. lépés
Pásztázó elektronmikroszkóp használata 4. lépés

4. lépés. Az ajtó csukva tartása közben nyomja meg és tartsa lenyomva az EVAC gombot, amíg villogni nem kezd, így a kamra ismét vákuumba kerül

Kattintásokat fog hallani, majd egy perc múlva a szivattyú turbina felpörgését. Ezek a szivattyúk eltávolítják az összes gázszemcsét a kamrából, és a belső nyomást körülbelül 10^-6 torr-ra növelik. Ha az EVAC gomb folyamatosan zölden világít, ez azt jelenti, hogy a kamra vákuumban van. Most várjon további 5 percet, mielőtt folytatná a következő lépést.

Pásztázó elektronmikroszkóp használata 5. lépés
Pásztázó elektronmikroszkóp használata 5. lépés

5. lépés. Az 5 perc letelte után készen áll az elektronnyaláb bekapcsolására és a fényképek készítésére

  • Menjen a SEM számítógépéhez, és a mikroszkóp szoftvert be kell kapcsolni. A képernyő jobb felső sarkában lévő zöld gomb OFF feliratot jelez, jelezve, hogy az elektronnyaláb ki van kapcsolva. Kattintson rá, hogy bekapcsolja a fénysugarat, majd azt mondja BE.
  • Ezután kattintson az ACB (automatikus kontraszt és fényerő) gombra, és a minta megjelenik.
  • A kezelőpanel nagyítógombjával közelítsen a kívánt nagyításra. Érdemes a fókuszálást nagyobb nagyítással elvégezni, mint amennyit a képhez szeretne, ezért a kép jobban fog kinézni, ha kicsinyít. Például, ha 2 500 -szoros képet szeretne, akkor körülbelül 4 000 -szeresre kell fókuszálnia.
  • A nagyítás után használja a fókusz gombot a kép fókuszálásához.
Pásztázó elektronmikroszkóp használata 6. lépés
Pásztázó elektronmikroszkóp használata 6. lépés

6. lépés Állítsa be a minta magasságát

Most a minta van fókuszban, de észreveheti, hogy nem olyan jól néz ki, mint amire számíthat.

  • A számítógép képernyőjén található minta képe alatt a "WD x mm" értékű munkaterület látható, ahol x általában 10-20 körüli szám. Vegye figyelembe ezt a számot.
  • A jó képek érdekében érdemes 10 mm munkaterületet használni. Ez azt jelenti, hogy a sugár 10 mm -re van a lencsétől. A munkatávolság beállításához kattintson a "WD x mm" gombra, és megjelenik egy csúszka, amely lehetővé teszi, hogy az x számot 10 -re változtassa. Kattintson a 10 -re.
  • Jelenleg a minta magassága Z = 25 mm. A minta magasságának megváltoztatásához használja a Z-gombot. Ez a rész trükkös lehet. Bármi is volt az eredeti munkatáv, vonja le a 10-et, és ennyi kell a Z-gomb mozgatásához. Például, ha a WD 16 mm volt, és 10 mm-re módosította, akkor Z-gombját körülbelül 6 mm-rel lefelé kell mozgatnia. Tehát körülbelül 19 mm -re fogja fordítani.
  • Miközben elforgatja a Z-gombot, figyelje a képernyőt, mert az elkezd fókuszálni. Ha fókuszban van, a kép készen áll!
Pásztázó elektronmikroszkóp használata 7. lépés
Pásztázó elektronmikroszkóp használata 7. lépés

7. lépés. Kicsinyítsen a kívánt nagyításra, és ha a minta másik területére szeretne lépni, használja az X és Y gombokat

A kontrasztot és a fényerőt is tetszés szerint állíthatja be. Ha megtalálja a kívánt területet, készítsen egy képet a "STORE" feliratú kamera ikonra kattintva. Ezzel megnyílik egy párbeszédpanel, amely lehetővé teszi a képfájl mentését. A fájlt tetszés szerint elnevezheti, és a számítógép bármely mappájában vagy flash meghajtón tárolhatja.

Pásztázó elektronmikroszkóp használata 8. lépés
Pásztázó elektronmikroszkóp használata 8. lépés

Lépés 8. Kapcsolja ki az elektronnyalábot a jobb felső sarokban lévő "BE" feliratú zöld gombra kattintva

Mielőtt folytatná, győződjön meg róla, hogy az „OFF” feliratot jelzi. Forgassa el az X, Y és Z gombokat úgy, hogy mindegyik érték 25 mm legyen. Most nyomja meg és tartsa lenyomva a VENT gombot, amíg villogni nem kezd, hogy a mintakamra visszatérjen a légköri nyomáshoz.

Pásztázó elektronmikroszkóp használata 9. lépés
Pásztázó elektronmikroszkóp használata 9. lépés

9. lépés: Nyissa ki a mintakamrát, ha a VENT gomb folyamatosan narancssárga színű

Miután kivette a mintát a tartóból, helyezze vissza az üres mintát a tartóba, és csúsztassa vissza a mintafázisba. Csúsztassa vissza az ajtót zárt helyzetbe. Végül nyomja meg és tartsa lenyomva az EVAC gombot, amíg villogni nem kezd. SOHA ne hagyja szellőztetni a SEM kamrát, ez károsíthatja a benne lévő alkatrészeket. Miután az EVAC gomb folyamatosan zölden világít, mentés szükséges a SEM elhagyásához.

Figyelmeztetések

  • Nagyon fontos, hogy viseljen kesztyűt, amikor bármihez hozzáér, ami a mintatérbe kerül!
  • Soha hagyja szellőztetni a SEM kamrát. Ha elhagyja a SEM -et, győződjön meg arról, hogy az EVAC gomb folyamatosan zölden világít.
  • Ha a mintát nem kifejezetten SEM -re készítették fel, ne tegye a mikroszkópba! Néhány minta egyszerűen nem fog jól megjelenni, de mások valóban károsíthatják a belső részeket.

Ajánlott: